●デュアルスパッタ用高周波パルス電源について

●大気圧プラズマ・ジェット開発
●スパッタリング用パルス電源開発
●新規ドメイン haiden.co.jp 取得

●3次現プラズマ処理装置開発

●イオン注入用パルスモジュレーター開発

●ワイヤ除電装置開発
●バイポーラ式半導体用パルス電源開発